SOS-E595真空出气测试设备

SOS-E595真空出气测试设备｜材料出气与污染评价系统

     材料或元器件出气是一种常见的现象，在超洁净空间环境或航天环境，对于元器件/或非金属材料的出气特性有着特别严格的要求。

     本设备用于各类材料在不同环境下的出气行为、污染物析出与沉积污染评价，广泛适用于半导体、光学、显示、真空设备、航空航天、电子封装等领域。
 

     设备以真空环境作为加速测试条件，快速模拟材料在高温、密闭、洁净或真空工况下的出气、残气释放、表面污染与沉积风险，精准评估材料对产品良率、镀膜质量、腔体洁净度及可靠性的影响，为材料选型、污染控制、工艺优化、良率提升提供关键数据支撑。
 

核心功能
材料出气测试与分析
污染物析出、残气成分与沉积评价
加速模拟不同环境下的材料出气行为
洁净选材、污染风险评估与良率保障

适用领域
半导体制造｜真空设备｜光学镀膜｜显示面板｜电子材料｜航空航天

方法标准

美国材料协会标准ASTM E595-15 （2021）是最常用的国际通用真空出气测试标准，用来评价分子污染，评估材料在真空状态下放气引起的总质量损失TML和收集的挥发性可凝物CVCM及水汽量WVR指标。

ASTM E595-15（2021） 测试方法：

     在真空环境中除气作用引起的总质量损失和挥发物质冷凝量的测试方法。

ASTM E595-15（2021）测试方法：

包含使用筛选技术来确定材料在真空状态下的挥发性。真空出气试验测试两个参数：总质量亏损（TML）和可冷凝挥发物质含量（CVCM），另一个参数回吸水汽量(WVR)。

真空出气试验ASTM E595测试方法标准下载